前言
为更好推动生态环境科技成果转化和产业化应用，不断提高科技服务水平，为深入打好污染防治攻坚战、改善生态环境质量、推动经济高质量发展提供有力科技支撑，四川省生态环境厅、四川省科学技术厅联合发布《关于征集四川省生态环保技术白皮书优秀技术成果的通知》向全社会公开征集污染防治领域先进技术成果，目前已征集水环境、大气环境、固体废物污染防治等三大领域的优秀技术。受四川省生态环境厅的委托，四川省环境科学学会组织编制《四川省生态环保技术白皮书》（以下简称《白皮书》），征集技术经专家评审后入选《白皮书》，现对入选技术陆续在微信平台上进行宣传、推广。所有技术及案例均来自入选技术的申报材料，案例内容经业主单位和申报单位确认。
技术名称
半导体行业生产废水“零排放”处理技术
技术工艺路线
技术工艺流程图
治理效果
针对半导体、薄膜太阳能电池、芯片、金属加工等行业产生的以砷、镉等重金属、高浓度难降解有机物、高氨氮等难处理的工业废水，开发的本技术主要指标如下所示：
本技术处理后的废水可达到《中国电子行业超纯水国家标准》（GB/T11446.1）、《自来水水质标准》（GB5749-2006）、《工业循环冷却水处理设计规范》（GB50050-2007）、《电池工业污染物排放标准》（GB 30484-2013）。
技术创新性
（1）本技术采用“以脱稳、臭氧催化氧化、生化为核心的预处理单元+梯级膜处理单元+MVR蒸发浓缩单元”的成套装备处理半导体行业生产废水，其中预处理通过臭氧固定催化氧化技术高效处理废水中的有机物，采用特有的破络合剂及絮凝剂，实现亚微米悬浮物的去除。
（2）通过预处理单元可将废水中有机物、氨氮、磷以及亚微米悬浮物和部分有毒重金属的去除，再通过梯级膜处理单元和MVR蒸发浓缩单元进一步深度处理废水中的重金属及无机盐，可将出水重金属浓度控制在0.002 mg/L以下，使废水达到回用要求。
（3）且通过高效MVR蒸氨塔实现电子级氨水的回收利用。本技术具有运行成本低，处理效率高等优点。
应用范围
本技术适用于含高盐、高氨氮、难生化降解有机物以及有毒重金属等复杂废水的处理，主要应用于薄膜太阳能电池、半导体芯片、金属材料加工等相关领域。其中部分技术成果还可应用于造纸、焦化、制药等行业废水的处理。
应用案例
案例名称：成都海威华芯材料有限公司
项目规模：30m³/d
项目效果：本项目技术获双流区节水先进示范项目，废水处理后达到城市回用水标准。
案例名称二：绵阳金能移动能源产业园一期项目废水处理系统工程
项目规模：240m³/h
项目效果：废水要求零排放处理。具体处理要求为：（1）预处理，水质达到《电池工业污染物排放标准》（GB30484-2013）;（2）零排放处理，处理后砷、镉含量不得高于10ppb，其余指标须满足《工业用水标准》（GB/T19923 -2005）。
